剎停後怠速起伏

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97 E39 525最近在剎車停止後，怠速會有輕微的高低高低，但是變化不大，大約都在100多轉上下起伏，也就是在怠速會變成700～800之間高低起伏，但怠速高低高低大約在5次到6次之後就消失了，除此之外，其餘的時候怠速都完全正常，請問這大概是什麼原因造成的啊？考耳和火星塞都已經換新的，進氣歧管也清過，怠速馬達也清過，但狀況仍然相同。